分析范圍0~50微米
分析誤差5%
分析時間30秒
重復性0.1%
電源電壓220V
EDXThick800是一款全新上照式多功能自動微區X熒光膜厚測試儀,既滿足原有微小和復雜形態樣品的膜厚檢測功能,又可滿足有害元素檢測及輕元素成分分析;搭載自動化的X/Y/Z軸的三維系統、雙激光定位和保護系統,可多點位編程測試,被廣泛應用于各類產品的質量管控、來料檢驗和對生產工藝控制的測量。
2016年10月,工業和信息化部發布了三項機械行業標準,分別為JB/T 12962.1-2016《能量色散X射線熒光光譜儀 第1部分:通用技術》、JB/T 12962.2-2016《能量色散X射線熒光光譜儀 第2部分:元素分析儀》和JB/T 12962.3-2016《能量色散X射線熒光光譜儀 第3部分:鍍層厚度分析儀》(以下簡稱“三項標準”)。三項標準將于2017年4月1日正式實施。這三項行業標準均由天瑞儀器起草撰寫。
天瑞儀器作為在國內的X熒光光譜儀生產廠商,X熒光光譜儀產品齊全、種類繁多,包括能量色散X射線熒光光譜儀、波長色散X射線熒光光譜儀等,基本覆蓋了X熒光光譜儀的所有產品。其在業內的度獲得了國家標準化管理會的認可。2010年,全國工業過程測量和控制標準化技術會分析儀器分技術會任命天瑞儀器為三項標準的主編單位。本次起草編撰歷時4年。經過多次的驗證、討論及意見征求, 2014年1月,天瑞儀器依據參編單位意見對標準工作組討論稿再次進行修改并形成了標準送審稿。2016年10月,工業和信息化部批準發布了該標準,并定于2017年4月1日實施。
二十世紀七十年代末,我國引進能量色散X射線熒光光譜儀投入使用,到90年代我國已具備自主生產能量色散X射線熒光光譜儀的能力。經歷了近30年的發展,到二十一世紀初我國能量色散X射線熒光光譜儀生產技術已日臻成熟。目前,我國已有多家研制、生產、組裝能量色散X射線熒光光譜儀的廠商,其產品主要性能指標基本接近國際水平。但是如何對能量色散X射線熒光光譜儀進行有效的質量評定,確保能量色散X射線熒光光譜儀的品質,目前國內還沒有統一的行業標準,相關企業基本按照自定的標準生產,難免造成儀器性能不穩定、產品質量參差不齊、使用者對儀器性能不了解、儀器購銷貿易糾紛不斷等問題,嚴重影響了行業的健康發展。
三項標準的實施將打破能量色散X射線熒光光譜儀行業的亂象,將規范本行業對于產品的技術要求及其測試方法,促進產業的進步和發展;將為產品的合同訂立和產品交易提供技術支持,確保供貨方和使用方的和利益;將使相關學術交流中,實驗數據和測量結果的表述更加準確、可靠,更具參考性;將為儀器的生產及制造過程中提供可做為驗收依據的參考數據。

基于X-光熒光的涂層厚度和材料分析是業內廣泛接受認可的分析方法,提供易于使用、快速和無損的分析,幾乎不需要樣本制備,能夠分析元素周期表上從13Al 到92U 的固體或液體樣品。
X射線測厚儀具有環保綠色安全的特性,不但還更環保而且對于人和環境的更小。X射線測厚儀利用X射線穿透被測材料時,X射線的強度的變化與材料的厚度相關的特性,從而測定材料的厚度,是一種非接觸式的動態計量儀器。它以PLC和工業計算機為核心,采集計算數據并輸出目標偏差值給軋機厚度控制系統,已達到要求的軋制厚度.測量元素:原子序數22(Ti)~83(Bi)
檢測器:比例計數管
X射線管:管電壓:50kV 管電流:1
準直器:4種(Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm)
樣品觀察:CCD攝像頭(可進行廣域觀察)
X-Ray Station:電腦、19英寸液晶顯示器
膜厚測量軟件:薄膜EP法、標準曲線法
測量功能:自動測量、中心搜索
定性功能:KL標記、比較表示
使用電源:220V/7.5A
特長:
1.自動對焦功能 自動接近功能
在樣品臺上放置各種高度的樣品時,只要高低差在80mm范圍內,即可在3秒內自動對焦被測樣品。由此進一步提高定位操作的便捷性。
●自動對焦功能 簡便的攝像頭對焦
●自動接近功能 適合位置的對焦
測量元素:原子序數22(Ti)~83(Bi)
檢測器:比例計數管
X射線管:管電壓:50kV 管電流:1
準直器:4種(Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm)
樣品觀察:CCD攝像頭(可進行廣域觀察)
X-Ray Station:電腦、19英寸液晶顯示器
膜厚測量軟件:薄膜EP法、標準曲線法
測量功能:自動測量、中心搜索
定性功能:KL標記、比較表示
使用電源:220V/7.5A
高分辨率 SDD
元素范圍: 鋁 - 鈾
樣品艙設計:開槽式
XY 軸樣品臺選擇:固定臺、自動臺

性能優勢
1、結合鍍層行業微小樣品的檢測需求,專門研發適用于鍍層檢測的超近光路系統,減少能量過程損耗。搭載的多導毛細管聚焦管,大的提升了儀器的檢測性能,聚焦強度提升1000~10000倍,更高的檢測靈敏度和分析精度以及高計數率保證測試結果的性和穩定性。
2、全景+微區雙相機設計,呈現全高清廣角視野,讓樣品觀察更全面;微米級別分辨率,的滿足超微產品的測試,讓測試更廣泛更便捷。
3、的多導毛細管技術,信號強度比金屬準直系統高出幾個數量級。
4、多規格可選的多導毛細管,的滿足用戶不同測試需求。
5、高精度XYZ軸移動測試平臺,結合雙激光點位定位系統,可實現在樣品測試過程中的全自動化感受一鍵點擊,測試更省心。

產品應用領域
測量超微小部件和結構,如:印制線路板、連接器或引線框架等;
分析超薄鍍層,如:厚度薄至2nm的Au鍍層和≤30nm的Pd鍍層;
測量電子和半導體行業中的功能性鍍層;
分析復雜的多鍍層系統;
全自動測量,如:用于質量控制領域;
符合ENIG/ENEPIG要求,符合DINISO3497,ASTMB568,IPC4552和IPC4556標準。
天瑞儀器股份有限公司集30多年X熒光膜厚測量技術,研發的一款全新上照式X射線熒光分析儀,該款儀器配置嵌入集成式多準直孔、濾光片自動切換裝置和雙攝像頭,不僅能展現測試部位的細節,也能呈現出高清廣角視野;自動化的X/Y/Z軸的三維移動,實現對平面、凹凸、拐角、弧面等形態的樣品進行快速對焦分析。能地滿足半導體、芯片及PCB等行業的非接觸微區鍍層厚度測試需求。
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